在上世紀80年代，世界上臺干式真空泵由英國愛德華公司研制成功，從此也使得真空獲得設備的研發(fā)和相關行業(yè)的生產工藝產生了革新進步。愛德華公司初研制出的是三級爪型轉子與一級羅茨轉子組合的干式泵，它的抽氣范圍在從大氣至1Pa之間，并且能夠以相對較低的運行成本與維護費用來獲得非常清潔、高質的真空環(huán)境。隨后相繼又出現(xiàn)了許多不同類型的干式真空泵，針對不同行業(yè)對于生產環(huán)境的需求，干式真空泵的種類和類型也已經變得十分細化，并且泵的結構設計技術也已經達到相當完備的程度。

隨著數(shù)十年的工業(yè)科技進步與技術革新，干式真空泵的研發(fā)、生產以及應用都已經取得了長足的進步。在各種行業(yè)、部門干式真空泵都已經得到了廣泛應用，所以按照其所使用的行業(yè)不同可以將干式真空泵分為兩種類型，即半導體型和石化型。半導體型干式真空泵是應用于半導體、數(shù)碼電子等成產工業(yè)中，其普遍要求獲得“清潔”“無油”的真空環(huán)境。相比較而言，石化型干式真空泵主要應用于制藥、冶金、石化工業(yè)生產中。這種類型的干式真空泵的技術著是為了得到干燥的抽真空環(huán)境，該泵主要用于抽除攜帶有大量腐蝕性介質、可凝蒸汽、灰塵的氣體。

在半導體等相關行業(yè)中，對于半導體型干式真空泵的技術要求普遍很高。相比之下，雖然半導體型干式真空泵同樣能夠完成石化行業(yè)的特定要求，但是在實際工作中卻存在設備造價偏高，并且抽速小無法達到要求抽氣量的問題。所以，又針對化工行業(yè)的行業(yè)特點，研制出了滿足其生產要求的石化型干式真空泵。

我國對于真空設備行業(yè)情況與國外相比仍有一些不足，比如研發(fā)能力差、技術改造滯后、產品雷同等問題普遍存在。近些年來，我國對于干式真空泵的研發(fā)也有了很大的提升，無論是在泵的性能、效率還是壽命等方面都已經普遍提高。綜合考慮各大廠家對于干泵的研發(fā)趨勢和大多數(shù)行業(yè)對于干泵的技術需求特點，能夠總結出干式真空泵未來發(fā)展的主要趨勢為:(a)發(fā)展方向由單級干式真空泵轉變?yōu)槎嗉壗M合化、小型化方向、機組化;(b)工作過程由簡單的吸氣、排氣發(fā)展為整體過程處理、回收、化排放等更環(huán)保更節(jié)能的處理過程;(c)朝著更加智能、高度機電、更加可靠的方向發(fā)展;(d)在泵的結構型式的發(fā)展方向而言，其中小型泵領域渦旋泵的研究受到普遍青睞，而在大型泵領域絕大多數(shù)廠商則更加傾向于螺桿泵的研發(fā)生產。