真空泵清洗后只需將轉(zhuǎn)子裝回泵體內(nèi)即可，并在四周的水循環(huán)回路面積的建筑物聯(lián)接，選擇真空泵時(shí)，需求曉得氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵，假定氣體中含有蒸汽、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該思索在泵的進(jìn)氣口管路上設(shè)備輔佐設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。

用蠟燭或打火機(jī)在可疑點(diǎn)臨近逐漸查尋，會發(fā)現(xiàn)火苗向漏點(diǎn)偏移，則可找到漏點(diǎn)，內(nèi)漏則要從不同真空工作區(qū)域分區(qū)排查，在真空體系抵達(dá)壓力值后，分別啟動卷繞和蒸騰體系，觀察真空計(jì)的讀數(shù)在短暫降落后有無爬高，能夠初步判別內(nèi)漏點(diǎn)方向。

內(nèi)漏多發(fā)作在有水冷卻點(diǎn)的設(shè)備上，在查外漏沒有發(fā)現(xiàn)疑點(diǎn)，可是卻有以下現(xiàn)象：機(jī)械泵的抽速顯著偏低，真空計(jì)示值低，機(jī)械泵油很快乳化，真空室內(nèi)的鐵基零部件顯著銹蝕等，具有以上條件根本能夠推斷內(nèi)漏，先將腔體整理潔凈，再通冷卻水，認(rèn)真查看通水管路有無濕潤點(diǎn)，濕潤處就是漏點(diǎn)。