真空機(jī)組的氣體通道短，氣體在級(jí)間的傳送方位不變，有利于氣體快速排出泵外和固體顆粒狀物體的排出，遍及應(yīng)用于真空鍍膜、冶金等行業(yè)，油渙散泵之所以被廣泛運(yùn)用，是由于它結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)略，價(jià)格低廉，對(duì)被抽氣體無(wú)選擇性，極限真空度高。

沒(méi)有機(jī)械傳動(dòng)及摩擦，維修便當(dāng)，缺點(diǎn)是容易發(fā)生油蒸汽返流，造成真空室油污染；啟動(dòng)時(shí)間長(zhǎng)；功率大，比較耗電，渙散泵的返油使它在對(duì)真空潔凈程度要求較高的真空體系的運(yùn)用中受限，為了處理這個(gè)問(wèn)題，通常在真空室與真空機(jī)組的主泵進(jìn)口之間的管道中設(shè)備冷阱、擋板。

能夠有效地抽除來(lái)自真空室的冷凝蒸氣和來(lái)自蒸氣流泵的返流油蒸氣，爪式泵拆開(kāi)困難：由于多級(jí)結(jié)構(gòu)，悉數(shù)拆開(kāi)要多級(jí)分解，而轉(zhuǎn)子拆開(kāi)是真實(shí)的難點(diǎn)，一同每拆開(kāi)一次，精度就會(huì)有不同程度的下降。