真空泵分別發(fā)動(dòng)卷繞和蒸騰體系，調(diào)查真空計(jì)的讀數(shù)在時(shí)間短下降后有無爬高，能夠初步判斷內(nèi)漏點(diǎn)方向，內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷卻點(diǎn)的設(shè)備上，在查外漏沒有發(fā)現(xiàn)疑點(diǎn)，可是卻有以下現(xiàn)象：機(jī)械泵的抽速顯著偏低，真空計(jì)示值低，機(jī)械泵油很快乳化。

真空室內(nèi)的鐵基零部件顯著銹蝕等，具有以上條件基本能夠揣度內(nèi)漏，先將腔體整理潔凈，再通冷卻水，仔細(xì)檢查通水管路有無濕潤點(diǎn)，濕潤處便是漏點(diǎn)，能夠運(yùn)用在高真空狀態(tài)下電離管對某些氣體反應(yīng)靈敏來檢漏，比方或乙醇，用醫(yī)用注射器向可疑的當(dāng)?shù)貒姲l(fā)或乙醇。

結(jié)合指針式真空計(jì)，噴到漏點(diǎn)時(shí)，電離計(jì)的指針會(huì)有顯著搖擺，用這種辦法檢漏必定要有耐心，要等到電離計(jì)的示值穩(wěn)定了，也便是真空機(jī)組的抽氣能力和漏率平衡了，再噴發(fā)，重復(fù)幾次，承認(rèn)漏點(diǎn)，修理必定要注意幾個(gè)環(huán)節(jié)，拆開、清潔、檢驗(yàn)、裝置，真空設(shè)備無論大小都?xì)w于精密機(jī)械設(shè)備，這點(diǎn)很重要。